Präzisionsreinigung

Vorteile

  • Dekontaminierung von Oberflächen
  • Erhöhte Anlagenverfügbarkeit
  • Oberflächenanalyse auf anhaftende Verunreinigungen
  • Verwendbarkeit der Teile unter Reinraumbedingungen

Technische Eigenschaften

  • Überwachung der Leitfähigkeit von deionisiertem Wasser
  • Mechanische Partikel werden durch Flüssigkeitspartikelzähler überwacht.
  • Messungen der Oberflächen- und Werkstoffverunreinigung durch analytische Mittel
  • Umgebung bis zu ISO 5 (gemäß ISO 14644)

 

Die Präzisionsreinigung ist eine Reinigung nach sehr strengen Standards. Es dürfen nur noch eine geringste Anzahl an mikroskopisch kleinen Partikel oder anderen Verunreinigungen nachweisbar sein. Anlagenteile, die diese Standards erfordern, werden in Reinräumen bearbeitet , die vergleichbar oder gleich den Reinraumanforderungen unserer Kunden sind.

In vielen High-Tech-Präzisionsindustrien wie Halbleiter, Display & Speichermedien ist die Feinreinigung von Neuteilen eine Voraussetzung vor der Montage der Baugruppen. Es ist ein Standardprozess, der auch bei der Wartung von kritischem Prozessequipment eingesetzt wird.
Der Dekontaminationsprozess und die Präzisionsreinigung können durch eine chemische Reinigung erreicht werden. Dabei können selektiv Verunreinigungen von den verschiedenen Substraten entfernt werden.

Bei einer Sprühreinigung wird durch Aufsprühen von unterschiedlichen Reinigungsflüssigkeiten die Oberfläche gereinigt.

Bei einer Tauchreinigung werden die Teile teilweise direkt in ein flüssiges Reinigungsmittel getaucht. Ein reiner Tauchvorgang ist oft nicht ausreichend, so dass noch mechanische Energie durch verschiedene Hilfseinrichtungen eigetragen werden kann. Die einzelnen Hilfseinrichtungen können einzeln oder in Kombination miteinander verwendet werden.