Nettoyage des pièces de l'équipement de lithographie
Avantages
- Délai d'exécution rapide
- Des machines de nettoyage automatisées qui garantissent des résultats de nettoyage reproductibles à des prix compétitifs.
- Réduction des déchets et de la consommation de fluides (solvants, tensioactifs, eau)
- Aucun investissement dans des machines sur le site du client
- Des supports et des plateaux propres et sûrs grâce à des contrôles et des réparations intégrés
- Logistique et stockage intégrés pour réduire les niveaux de stock des clients
Propriétés
- Conductivité de l'eau DI
- Particules mécaniques contrôlées par le LPC
- Dégazage sous vide 24 h
- Analyse des gaz résiduels (RGA) par des moyens analytiques (ICP-MS)