Anodisation
Les pièces d'équipement de fabrication microélectronique nécessitent une protection contre la corrosion générée par les gaz et les sous-produits de réaction des procédés de fabrication, principalement pour les applications de gravure séche. Cleanpart fournit à ses clients des services d'anodisation qui répondent à ce besoin.
AVANTAGES
- L'anodisation améliore la résistance à la corrosion et à l'usure et permet une meilleure adhérence des revêtements de finition.
- Une couche anodique peut également trouver son application à des fins cosmétiques.
- L'anodisation confère également des propriétés lubrifiantes et diélectriques.
L'anodisation est une méthode électrochimique permettant de créer une couche d'oxyde sur les métaux non ferreux tels que l'Al, Ti, Mg ou Nb. L'application principale est l'anodisation de l'aluminium, ainsi que du Mg et Ti dans des proportions considérablement plus faibles.
L'anodisation ne correspond pas à un revêtement au sens normal du terme, mais à la conversion en surface du substrat dans sa forme oxydée.
Il est possible de produire des couches à propriétés spécifiques grâce à des électrolytes variés (acide sulfurique, oxalique, chromique etc.) et aux systèmes d'alimentation en courant (CA, CC, pulsé). Il est possible de se concentrer sur l'amélioration des propriétés anti-corrosives, la dureté ou les deux. L'adhérence excellente de tous les types de couches est une caractéristique inhérente au processus.
L'anodisation chimique au plasma (ou oxydation anodique à décharge électrique) est utilisée pour créer des couches α - Al₂O₃ très dures (si Al est le substrat) aux propriétés mécaniques, chimiques et électriques extraordinaires.
Le caractère poreux de la surface anodisée peut être utilisé pour traiter la couche avec des lubrifiants, des polymères ou simplement de l'eau afin d'obtenir des caractéristiques spécifiques. Pendant de nombreuses années, l'anodisation dure était considérée comme le standard dans l'industrie microélectronique pour protéger l'aluminium des réacteurs de la corrosion jusqu'à ce que le passage à des revêtements pulvérisés par torche se soit avéré nécessaire.