Analyse de gaz résiduels
La méthode ultime de test de contamination pour les applications microélectroniques est l'analyse de gaz résiduel (RGA). Cleanpart propose des services de test avec cet appareil qui mesure les traces de gaz générées par les contaminants sur les pièces testées. Cette procédure est obligatoire pour les équipements de dernière génération, en particulier pour la photolithographie.
Avantages
Parmi ses nombreuses capacités d'analyse, Cleanpart propose à ses clients des analyses de gaz résiduels (AGR). Les avantages sont:
- La certification directe et immédiate de la propreté des pièces conformément aux spécifications OEM (par ex. ASML niveau 1)
- Les analyses de défaillance de pièces contaminées
Un analyseur de gaz résiduels est un spectromètre de masse typiquement conçu pour le contrôle des processus et de la contamination dans les systèmes sous vide.
Les AGR sont la plupart du temps utilisées pour contrôler la qualité du vide et peuvent facilement détecter toutes traces d'impuretés dans un environnement de gaz à basse pression.
Ces impuretés peuvent être mesurées jusqu'à des niveaux de 10E-12 Pa et peuvent être détectées dans la gamme inférieure au ppm en l'absence d'interférences de fond.
Champs d'application :
- Pièces et sous-ensembles à vide poussé et à ultra-vide
- Analyses de matériaux possibles sur toutes les pièces et ensembles pouvant entretenir des conditions de vide
- Dimensions : manutention d'ensembles de petite ou grande taille
- Spectre de masse : de 1 à 200
Un rapport AGR détaillé est fourni avec chaque pièce, y compris les taux de dégazage des pièces pour l'eau, CxHy v, CxHy nv.