Produkt Neuheiten

ECD - Entwickelt von Cleanpart

Die neuesten CVD-Verfahren, die in der Halbleiterindustrie angewendet werden, sind extrem empfindlich bezüglich Restkontamination und veränderter Teilegeometrie innerhalb der Prozesskammern . 

Nach aufwendigen Entwicklungsprozess kann Cleanpart jetzt offiziell mitteilen, dass das ECD (Enhanced CVD Dekontamination) Verfahren mit mehreren führenden Firmen in der Halbleiterindustrie, in verschiedenen Regionen der Welt, qualifiziert werden konnte...