Teilereinigung von Lithografieanlagen
Vorteile
- Schneller Durchlauf
 - Automatisierte Reinigungsmaschinen, die wiederholbare Reinigungsergebnisse zu wettbewerbsfähigen Preisen gewährleisten
 - Reduzierter Abfall und Flüssigkeitsverbrauch (Lösungsmittel, Tenside, Wasser)
 - Keine Investition in Maschinen beim Kunden vor Ort
 - Saubere und sichere Träger und Trays dank integrierter Kontrollen und Reparaturen
 - Integrierte Logistik und Lagerung zur Reduzierung der Lagerbestände beim Kunden
 
Eigenschaften
- Leitfähigkeit von DI-Wasser
 - Mechanische Partikel überwacht durch LPC
 - Vakuum-Ausgasung 24 h
 - Restgasanalyse (RGA) mit analytischen Mitteln (ICP-MS)