Dégazage sous vide
Les sites de service Cleanpart sont équipés de fours de dégazage sous vide qui sont en charge de dégazer efficacement les pièces semi-conducteurs après leurs étapes de nettoyage et rinçage. L'humidité est un détracteur important dans la plupart des procédés de fabrication de semi-conducteurs; il est donc essentiel d'inclure ces technologies dans notre flux de process.
AVANTAGES
Cleanpart dispose d'étuves sous vide de différentes dimensions pour le dégazage de pièces de taille variée ou pour traiter des quantité importantes de pièces. Le dégazage Sous vide est principalement appliqué en post-traitement sur des pièces déjà nettoyées et/ou comme traitement préalable de pièces devant être utilisées dans des conditions de vide.
Principaux avantages :
- Élimination efficace de l'humidité (H₂O) et élimination de matériaux peu volatiles (produits organiques)
- Diminution des temps de dégazage et de pompage sous vide de l'équipement si les pièces sont utilisées dans des conditions de vide (comme dans les processus de décapage ou de dépôt)
- En conséquence, disponibilité accrue de l'équipement
CARACTÉRISTIQUES TECHNIQUES
Données de capacité et de traitement:
- Dimensions de la chambre : jusqu'à 1,5 x 1,5 x 1,5 m
- Niveau de vide descendant jusqu'à 0,13 Pa
- Température de four allant jusqu'à 500°K
- Programmes de démarrage/arrêt progressif
- Flux de gaz inerte
Le dégazage sous vide consiste à placer des composants dans une enceinte sous vide, chauffée et purgée avec de l'azote N₂ ou des gaz rares afin d'évacuer les matériaux extraits.
Le double effet de la chaleur et du vide permet aux composants de sécher très efficacement, en particulier ceux dont la surface est poreuse (pièces avec revêtement) ou les substrats poreux (céramiques et graphite). Les matériaux organiques sont par ailleurs éliminés. Le processus est plus onéreux mais a une efficacité supérieure à l 'étuvage conventionnel atmosphérique.
En conséquence, il convient d'emballer convenablement la pièce traitée (étanchéité du conditionnement) afin d'éviter la réabsorption de l'humidité ou de matériaux de tous types.