Nettoyage thermique
Le flux de traitement Cleanpart pour les pièces semi-conducteur comprend des technologies de nettoyage thermique, en particulier pour les céramiques.Des fours haute température sont utilisés pour détruire les contaminants thermiquement dégradables incorporés dans les joints de grain de la céramique.
AVANTAGES
Cleanpart propose une large gamme de fours haute-température pour le nettoyage thermique des composants. Il est possible de traiter de façon économique des pièces de grande taille ou bien de grosses quantités. Le nettoyage thermique est très efficace pour les opérations suivantes :
- Décontamination de surfaces
- Nettoyage en profondeur de matériaux céramiques (contaminants piégés dans les joints de grain)
- Élimination de polymères sur des surfaces résistantes à la chaleur en alternative au nettoyage chimique
CARACTÉRISTIQUES TECHNIQUES
Les paramètres critiques des recettes de traitement sont les suivants :
- Température
- Programme de chauffe/refroidissement, taux de montée et descente en température
- Durées de traitement
- Gaz de purge
Le nettoyage thermique consiste à chauffer les composants contaminés à une température faisant fondre, s'évaporer ou sublimer les contaminants, et ainsi d'obtenir un composant (surface) exempt de tout polluant.
Cette technique est parfaitement adaptée aux surfaces résistant aux températures élevées par rapport à leurs contaminants, comme par ex. les composants contaminés par des polymères. Elle convient également tout à fait aux céramiques, matériaux frittés dans lesquels les contaminants peuvent pénétrer après une certaine période d'utilisation.
Le processus de décontamination est effectué dans des fours haute-température dans lesquels la température est contrôlée de façon précise, tout particulièrement pendant les phases de montée et descente en température (démarrage/arrêt progressif), afin d'éviter les chocs thermiques. La purge d'azote ou de gaz nobles peut appuyer cette procédure.
Une fois que les pièces ont refroidi, il peut s'avérer nécessaire de procéder à un nettoyage complémentaire afin de retirer les résidus (principalement inorganiques) des pièces.