Revêtement par projection de plasma
La technologie de projection thermique plasma Cleanpart est utilisée dans diverses applications semi-conducteur car elle permet aux équipements travaillant sous vide poussé d'avoir une meilleure performance en contamination particulaire. Les revêtements obtenus par projection plasma améliorent soit l'adhérence des dépôts dans les chambres de process ou bien conduisent à moins d'affinité entre la surface de la pièce et les dépôts générés par le process, réduisant ainsi l'accumulation de la contamination sur le long terme.
AVANTAGES
- Les revêtements par projection thermique plasma permettent d'améliorer considérablement la performance des composants. Quel que soit le critère (par ex. barrière thermique, protection anti-corrosion, réduction de la contamination, ostéocompatibilité, durée de vie des composants), il est possible d' améliorer sa performance grâce à cette technique de revêtement avec pour conséquence une meilleure disponibilité de l'équipement, une durée de vie prolongée des composants et un coût de possesion de l'équipement réduit.
- Les torches plasma Cleanpart sont robotisés afin d'assurer une reproductibilité maximale du processus.
- Nos équipes d'ingénieurs examinent votre cahiers des charges avec attention afin de garantir un revêtement parfaitement adapté à vos applications.
CARACTÉRISTIQUES TECHNIQUES
- Épaisseur typique : 50 à 3000 µm
- Rugosité ajustable (en fonction de l'application) : 5 µm < Ra < 30 µm
- Porosité : adaptable à partir de < 1%
- Possibilité d'usinage et de polissage
Principe : une flamme plasma est créée à l'aide d'un gaz plasmagène qui est accéléré par le biais d'une buse de forme spécifique. Le jet plasma créé a une vitesse de gaz allant jusqu'à Mach 2. Les températures de projection de plasma sont proches de 10,000°C, permettant de faire fondre le matériau injecté dans la flamme et d'être projeté sur une surface sur laquelle il forme une couche après avoir refroidi.
Matériau projeté : une vaste gamme de matériaux peut être déposée grâce à la versatilité de la technologie de projection plasma. Cela va des polymères basse-température aux métaux et inclut les céramiques telles que la zircone, l'oxyde d'yttrium, l'alumine, l'oxyde de titane et de chrome, la spinelle et l'hydroxyapatite.
Propriétés des couches projetées : épaisseur, rugosité, porosité et pureté ajustables, adaptées sur mesure aux besoins du client par notre laboratoire interne.
Méthodologie : une fois que les spécifications requises ont été définies, Cleanpart met en œuvre la totalité des procédures de revêtement, incluant l'usinage, la préparation de la surface, les contrôles et mesures, les analyses et les essais en série.