Plasmaspritzen
Plasma spray technology by Cleanpart is used in various semiconductor applications as it provides superior particle performance for equipement working under high vacuum. Plasma spray coating either enhances deposits adhesion in the process chambers or alternatively leads to less affinity between part surface and deposits, therefore reducing deposits accumulation in the long run.
Vorteile
- Durch Plasmaspritzen aufgetragene Beschichtungen ermöglichen eine Optimierung bestimmter Eigenschaften von Komponenten. Je nach Aufgabenstellung (z.B. Isolation, Korrosionsschutz, Verringerung der Kontamination, Osteokompatibilität, Lebensdauer des Teils) können diese gezielt verbessert werden. Dies erhöht die Lebenserwartung, die Anlagenverfügbarkeit und verringert die Anlagenbetriebskosten.
- Unsere Plasmaspritzanlagen sind robotergesteuert und gewährleisten so eine maximale Genauigkeit und Reproduzierbarkeit.
- Unsere Techniker werden die Kundenspezifikation so umsetzen , dass die geforderten Parameter erreicht werden.
Technische Eigenschaften
- Typische Dicke: <5 mm
- Einstellbare Rauheit (abhängig von der Anwendung): 5 µm < Ra < 50 µm
- Porosität: einstellbar ab 1%
- Mechanische Bearbeitung/Polieren möglich
Prinzip: Ein Gas wird von einem Lichtbogen erhitzt, ionisiert und beschleunigt. Dadurch entsteht ein Plasmastrahl mit einer Gasgeschwindigkeit von bis zu Mach 2. Die Temperaturen im Plasmastrahl erreichen fast 10.000 K, wodurch das jeweilige Material schmilzt und auf eine Oberfläche gespritzt werden kann, auf der es dann abkühlt und eine Schicht bildet.
Spritzwerkstoff: Aufgrund der Vielseitigkeit der Plasmaspritztechnologie können verschiedenste Materialien für die Beschichtung verwendet werden. Dies reicht von Polymeren über Metalle bis hin zu keramischen Werkstoffen wie Aluminiumoxid, Titanoxid und Chromoxid, Yttriumoxid oder Hydroxylapatit.
Eigenschaften der Spritzschichten: Einstellbare Schichtdicke, Rauheit, Porosität und Reinheit; exakt auf die Anforderungen unserer Kunden zugeschnitten und durch unser In-house Qualitätslabor überprüft.
Vorgehensweise: Nachdem die erforderlichen Spezifikationen definiert sind, führt Cleanpart das gesamte Beschichtungsverfahren einschließlich Werkzeuganfertigung, Oberflächenvorbereitung sowie laufenden Prüfungen und Messungen durch.