Anodisieren
Semiconductor manufacturing equipment parts require protection against corrosion generated by the manufacturing process gases and by-products, essentially for etch application. Therefore Cleanpart provides its customers anodisation services that answer to this need.
Vorteile
- Durch das Anodisieren wird die Korrosions-und Verschleißbeständigkeit von Oberflächen erhöht.
- Anodische Schichten können auch für eine Reihe optischer Effekte verwendet werden.
- Durch das Anodisieren können Oberflächen auch schmier- oder dielektrische Eigenschaften verliehen werden.
Anodisieren ist ein elektrochemisches Verfahren um Oxidschichten auf Metallen (wie Al, Ta, Ti, Mg oder Nb) herzustellen oder zu verstärken. Hauptsächlich werden Aluminium und – in wesentlich geringerem Umfang – auch Magnesium und Titan anodisiert.
Anodisieren ist keine Beschichtung im herkömmlichen Sinn, sondern stellt eine Umwandlung des Grundmaterials in eine oxidische Schutzschicht dar.
Durch eine Vielzahl von Elektrolyten (Schwefelsäure, Oxalsäure, Chromsäure, etc.) und Stromversorgungssystemen (Gleichstrom, Wechselstrom, Impuls) können Schichten mit spezifischen Eigenschaften hergestellt werden. Das Hauptaugenmerk kann auf die Verbesserung der Korrosionsschutzeigenschaften, der Härte oder beides gelegt werden. Die hervorragende Haftung aller Schichten ist ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens.
Plasmachemisches Anodisieren (oder anodische Oxidation unter Funkenentladung) wird verwendet, um sehr harte Schichten aus α - Al₂O₃ (wenn Al das Grundmaterial ist) mit herausragenden mechanischen, chemischen und elektrischen Eigenschaften herzustellen.
Der poröse Charakter der anodisierten Oberfläche kann verwendet werden, um die Schicht mit Schmiermitteln, Polymeren oder einfach nur Wasser zu färben oder zu tränken, um dadurch bestimmte Eigenschaften zu erreichen oder zu verbessern. Viele Jahre lang war Anodisieren das Standardverfahren in der Halbleiterindustrie, um Aluminium vor Korrosion und Erosion bei Ätzkammeranwendungen zu schützen, bis ein Wechsel zu thermisch gespritzten Oberflächen erforderlich wurde.