Leckage-Test
Many semiconductor manufacturing equipment operate under high vacuum and their built-in components require high integrity to leaks. Cleanpart is equipped with various leak testing technologies, the most efficient being the Helium testing
Vorteile
Die Cleanpart-Standorte sind mit modernsten Prüfständen zur Dichtheitsprüfung ausgestattet.
Die Vorteile sind:
- Vollständig geprüfte Komponenten mit Funktionsgarantie
- Verringerte Anlagenwartungszeit durch die Installation von Plug- & Play-Komponenten
- geringere Stillstandzeit der Anlage
Eigenschaften
- Leckmessung: Heliumleckraten 10 -9 mbar. l¯¹
- Leckmessung durch Druckabfall: 1 mT/min
Die meisten unserer Kunden haben Komponenten und Baugruppen, die bei einem Unter- oder Überdruck verschiedener Medien arbeiten. Dabei kann es sich um temperaturgeregelte Flüssigkeitskreisläufe oder Baugruppen unter Ultrahochvakuumbedingungen handeln. In jedem dieser Fälle können sich unsere Kunden darauf verlassen, dass ihre Komponenten nach der Prüfung alle Anforderungen an die Dichtheit erfüllen.
Üblicherweise werden Helium-Lecktester eingesetzt. Eine Komponente die auf Dichtheit überprüft werden soll, wird evakuiert und um die zu prüfende Bereiche eine Helium-Atmospähre erzeugt. Da Helium ein sehr kleines Molekül ist, dringt es in kleinste Undichtigkeiten (defekte O-Ringe, Schweißnähte etc.) ein und wird dann vom Spektrometer des Lecksuchers detektiert. Der Helium-Lecksucher kann auch umgekehrt verwendet werden: Die Komponente wird mit Helium unter Druck gesetzt und das Spektrometer wird verwendet, um entweichende Heliummoleküle zu erkennen (Schnüffel-Modus).
Unsere Werke verfügen über weitere Prüfstände, die Flüssigkeitslecks durch die Überwachung von Druckabfällen oder durch automatisierte Druckwechselbeanspruchung ermitteln.
Letztlich besteht das Ziel darin, unseren Kunden eine funktionsfähige Komponente zu liefern, die problemlos bis zum nächsten geplanten Wartungstermin funktioniert.