Teilereinigung von Lithografieanlagen
Vorteile
- Schneller Durchlauf
- Automatisierte Reinigungsmaschinen, die wiederholbare Reinigungsergebnisse zu wettbewerbsfähigen Preisen gewährleisten
- Reduzierter Abfall und Flüssigkeitsverbrauch (Lösungsmittel, Tenside, Wasser)
- Keine Investition in Maschinen beim Kunden vor Ort
- Saubere und sichere Träger und Trays dank integrierter Kontrollen und Reparaturen
- Integrierte Logistik und Lagerung zur Reduzierung der Lagerbestände beim Kunden
Eigenschaften
- Leitfähigkeit von DI-Wasser
- Mechanische Partikel überwacht durch LPC
- Vakuum-Ausgasung 24 h
- Restgasanalyse (RGA) mit analytischen Mitteln (ICP-MS)