Restgasanalyse
The ultimate contamination testing method used for semiconductor applications is Residual Gas Analyse (RGA). Cleanpart offers testing services with this device that measures trace gases generated by contaminants on tested parts. This is a mandatory procedure for latest generation equipment, in particular for photolithography.
Vorteile
Als Teil seiner umfassenden Analysedienstleistungen bietet Cleanpart seinen Kunden auch Restgasanalysen an. Die Restgasanalyse bietet unter anderem folgende Vorteile:
- Zertifizierung der Reinheit der Teile (direkt) gemäß den OEM-Spezifikationen (z.B. ASML Grade 1)
- Fehleranalysen verschmutzter Teile
- Prüfungen am Teil direkt
Restgasanalysatoren werden zumeist verwendet, um Spuren von Verunreinigungen im Hochvakuum festzustellen und somit die Prozessqualität zu überwachen. Dabei werden Massenspektrometer eingesetzt.
Unter entsprechenden Rahmenbedingungen können bei Drücken von bis zu 10 E- 12 hPa Ausgasungen bis in den niedrigen ppm-Bereich bestimmt werden.
Anwendungsgebiete:
- Bauteile für den Einsatz im Hoch- und Ultrahochvakuum
- Prüfung der Vakuumintegrität
- Für Einzelteile und Baugruppen
- Massenspektrum: von 1 bis 200 amu
Mit jedem Teil wird ein detailliertes Protokoll mitgeliefert, das unter anderem Ausgasungsraten für Wasser und Kohlenwasserstoffe unterschiedlicher Volatilität enthält.